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    標題: 甲烷和二氧化碳於高周波電漿系統中催化反應之研究
    作者: 米孝萱
    王雅玢
    貢獻者: 環境工程衛生系
    關鍵字: 高週波電漿
    甲烷
    日期: 2002
    上傳時間: 2008-06-30 16:32:30 (UTC+8)
    出版者: 台南縣：嘉南藥理科技大學環境工程衛生系
    摘要: 本研究針對甲烷氣體在高週波(RF)電漿系統中的分解反應進行研究。利用一個自行設計的高週波電漿反應器來進行實驗。實驗中藉由控制各種不同的操作參數，來進行電漿分解反應。而這些操作參數包括了反應氣體進流濃度、系統的操作壓力、進流氣體的總流量以及高週波的輸入功率。藉由不同的組合來求取最佳的轉化率和分解率。在以高週波電漿對甲烷進行分解反應的實驗中，當控制其操作條件在:甲烷進流濃度為5%，電漿反應器中的操作壓力為20Torrs，進流氣體的總流量為50sccm和高週波的輸入功率為120Watt時，可得到89.0%的最高甲烷分解率。
    關聯: 計畫編號：CNEV9128
    顯示於類別:[環境工程與科學系(所)] 校內計畫

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