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Item 310902800/1295
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https://ir.cnu.edu.tw/handle/310902800/1295
標題:
甲烷和二氧化碳於高周波電漿系統中催化反應之研究
作者:
米孝萱
王雅玢
貢獻者:
環境工程衛生系
關鍵字:
高週波電漿
甲烷
日期:
2002
上傳時間:
2008-06-30 16:32:30 (UTC+8)
出版者:
台南縣:嘉南藥理科技大學環境工程衛生系
摘要:
本研究針對甲烷氣體在高週波(RF)電漿系統中的分解反應進行研究。利用一個自行設計的高週波電漿反應器來進行實驗。實驗中藉由控制各種不同的操作參數,來進行電漿分解反應。而這些操作參數包括了反應氣體進流濃度、系統的操作壓力、進流氣體的總流量以及高週波的輸入功率。藉由不同的組合來求取最佳的轉化率和分解率。在以高週波電漿對甲烷進行分解反應的實驗中,當控制其操作條件在:甲烷進流濃度為5%,電漿反應器中的操作壓力為20Torrs,進流氣體的總流量為50sccm和高週波的輸入功率為120Watt時,可得到89.0%的最高甲烷分解率。
關聯:
計畫編號:CNEV9128
顯示於類別:
[環境工程與科學系(所)] 校內計畫
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