甲烷和二氧化碳於高周波電漿系統中催化反應之研究

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Title:	甲烷和二氧化碳於高周波電漿系統中催化反應之研究
Authors:	米孝萱王雅玢
Contributors:	環境工程衛生系
Keywords:	高週波電漿甲烷
Date:	2002
Issue Date:	2008-06-30 16:32:30 (UTC+8)
Publisher:	台南縣：嘉南藥理科技大學環境工程衛生系
Abstract:	本研究針對甲烷氣體在高週波(RF)電漿系統中的分解反應進行研究。利用一個自行設計的高週波電漿反應器來進行實驗。實驗中藉由控制各種不同的操作參數，來進行電漿分解反應。而這些操作參數包括了反應氣體進流濃度、系統的操作壓力、進流氣體的總流量以及高週波的輸入功率。藉由不同的組合來求取最佳的轉化率和分解率。在以高週波電漿對甲烷進行分解反應的實驗中，當控制其操作條件在:甲烷進流濃度為5%，電漿反應器中的操作壓力為20Torrs，進流氣體的總流量為50sccm和高週波的輸入功率為120Watt時，可得到89.0%的最高甲烷分解率。
Relation:	計畫編號：CNEV9128
Appears in Collections:	[Dept. of Environmental Engineering and Science (including master's program)] Chna Project

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